作者：郑利兵 石庚辰 韩立liga电铸镍材料特性拉伸弹性模量
摘要：LIGA电铸镍的材料特性与其电铸时的工艺参数有着直接的关系。利用MEMS材料拉伸机对LIGA电铸镍进行拉伸实验，获得了其应力一应变曲线，通过数据处理和分析，获得了LIGA电铸镍的弹性模量、屈服极限以及断裂极限，并和纳米压痕仪测得的数据进行了对比，两者有较好的一致性。
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