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功能材料与器件学报杂志

功能材料与器件学报杂志部级期刊

主管单位:中国科学院  主办单位:中国材料研究学会;中国科学院上海微系统与信息技术研究所

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功能材料与器件学报 2004年第03期杂志 文档列表

功能材料与器件学报杂志论文
用ECRCVD方法制备优质氮化硅钝化膜第279-283页
关键词: 氮化硅;  钝化膜;  电子回旋共振;  等离子体化学气相沉积;  制备;  低温沉积;  
Si和C共掺杂的SiO2薄膜的光致发光第284-288页
关键词: 光致发光;  红外吸收谱;  碳化硅;  双离子束溅射;  掺杂;  二氧化硅薄膜;  
电极对PZT铁电薄膜的微观结构和电性能的影响第289-293页
关键词: pzt;  铁电薄膜;  微观结构;  电性能;  电极;  疲劳;  锆钛酸铅;  
LaNiO3缓冲层对Pb(Zr,Ti)O3铁电薄膜的影响第294-298页
关键词: 铁电薄膜;  剩余极化;  介电特性;  lanio3;  锆钛酸铅;  
Al2O3透明陶瓷显微结构的研究第299-302页
关键词: al2o3;  透明陶瓷;  显微结构;  光学性能;  无压烧结;  氧化铝单晶;  可调谐激光材料;  
La0.67Sr0.33MnO3中Bi的掺杂效应第303-306页
关键词: 掺杂;  磁电阻效应;  自旋相关散射;  自旋相关隧穿;  铋;  lsmo;  
HgCdTe探测器应力的多重晶X射线衍射分析第307-312页
关键词: hgcdte;  光伏探测器;  应力;  钝化;  三重晶x射线衍射;  倒易空间作图;  
层状结构锰氧化物La2-2xSr1+2xMn2O7的EXAFS研究第313-317页
关键词: 层状结构;  锰氧化物;  exafs;  lsmo;  
放电等离子烧结技术制备复合梯度靶材的研究第318-322页
关键词: 复合梯度靶材;  放电等离子烧结;  扫描电子显微镜;  能谱分析仪;  
2005年《材料导报》(月刊)第322-322页
高温碳离子注入形成碳化硅埋层的结构研究第323-326页
关键词: 碳化硅;  埋层;  离子束合成;  结构;  退火;  结晶性能;  
CF4/Ar等离子体刻蚀中入射角对SiO2刻蚀速率的影响第327-331页
关键词: 感应耦合等离子体;  法拉第筒;  归一化刻蚀速率;  入射角;  sio2;  
离子束增强沉积VO2多晶薄膜的相变模拟第332-336页
关键词: vo2;  多晶薄膜;  离子束增强沉积;  晶格畸变;  晶界隧穿;  相变;  模拟;  
第Ⅰ类硅笼中M@Si20原子团的电子态研究第337-342页
关键词: iv族元素;  电子态密度;  电荷转移;  
RIE对巨磁电阻自旋阀磁性能的影响第343-346页
关键词: 巨磁电阻;  自旋阀;  磁性能;  传感器;  反应离子刻蚀;