紫外、深紫外非线性光学晶体的最新研究进展

作者：陈创天; 林哲帅; 王志中非线性光学晶体深紫外研究进展非线性光学性质光电子能谱仪精密机械加工光刻技术相干光源光输出谐波激光

摘要：深紫外相干光源对于光刻技术、光电子能谱仪、激光精密机械加工等均具有十分重要的意义。本文系统地阐述了可产生深紫外谐波光输出的非线性光学晶体的发现、基本线性、非线性光学性质，以及用它产生深紫外谐波光的方法。最后简介了深紫外谐波光的几个实例。

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