作者：朱亚辉; 李永友; 王东哲; 王方军; 赵安中...恒弹性合金传感器热处理漏气率拟合精度晶粒度
摘要：新型Fe-Ni-Cr-Ti恒弹性合金主要应用于压力传感器,针对此新型压力传感器超薄壁（壁厚0.05 mm以下）的特点,为满足元件漏气率达到10（-7） Pa·L/S数量级、拟合精度达到万分之十FS的精度水平,细小、均匀的组织及性能一致性好的原材料棒材起到至关重要的作用。研究了原材料的不同固溶温度、不同保温时间的热处理工艺对合金金相显微组织的影响。结果表明,原材料冷拔前棒坯固溶温度采取1 000℃×60min,水冷,再经过一定的冷拔变形,最终原材料冷拔棒晶粒度能够优于5级,得到细小均匀的显微组织,有利于制备出振动特性优异的传感器,满足元件漏气率与拟合精度的指标要求。
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