作者：赵宗彦; 柳清菊; 张瑾; 朱忠其纳米多孔二氧化硅薄膜绝热材料绝热机理
摘要：作为微电子机械系统（MEMS）技术中最有潜力的绝热材料，纳米多孔二氧化硅薄膜近年来引起了广泛的关注。研究表明其绝热性能与微观结构密切相关。综述了纳米多孔二氧化硅薄膜的制备方法、表征手段和绝热机理，并讨论了目前存在的一些问题和今后的发展方向。
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