作者：王克明等离子体表面工程第9届会议国际2004年9月表面改性薄膜沉积过程参数慕尼黑委员会维也纳奥地利粒子束
摘要：第9届国际等离子体表面工程会议(简称PSE2004)于2004年9月13～17日在德国慕尼黑南部约100公里处的Garmisch-Partenkirchen举行。会议由欧洲等离子体和离子表面工程联合委员会主办，会议主席为奥地利维也纳的H．Sttiri。会议的目的在于为等离子体、离子/粒子束表面改性和工程，以及等离子体和离子位子束辅助涂层和薄膜沉积的研究、发展和应用的最新进展的交流提供机会。提交的论文对于澄清过程参数之间的关系，
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