作者：郑树琳 宋亦旭 孙晓民离子刻蚀三维元胞模型边界时间最短优先移动法滚轮搜索法
摘要：为了更好地理解和认识刻蚀机理，并为制造工艺提供优化指导，采用三维元胞模型研究了离子刻蚀工艺的表面演化过程。针对三维元胞模型内存使用量大，采用了静态数组和动态双向链表相结合的方式进行信息存储；提出了边界时间最短优先移动法，改进了刻蚀离子入射轨迹计算量大的问题；通过一种降维分量拟合方法实现了刻蚀离子入射角度的快速求解，并重点对用于拟合计算的表面元胞的选取方法进行了改进，提出了滚轮搜索法，提高了拟合的准确度。将该模型应用到硅刻蚀工艺三维仿真中，其模拟结果与相关实验结果对比，验证了该模型对刻蚀工艺描述的有效性。
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