MOEMS阵列光开关的微反射镜的制作

作者：董玮; 张歆东; 刘彩霞; 贾翠萍; 潘建旋; ...微反射镜光开关硅片moems湿法腐蚀阵列反射镜面制作

摘要：通过各向异性湿法腐蚀工艺利用(110)硅片制作了8×8阵列光开关的微反射镜阵列,反射镜面为{111}面,表面粗糙度低于10nm, 垂直度好于用同样的方法在(100)硅片上制作的反射镜.

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