作者：赵新; 任亮; 李亚威; 卢桂章mems系统验证建模可扩充性虚拟加工规则描述虚拟现实技术工艺模型器件仿真
摘要：利用虚拟现实技术对MEMS加工工艺进行仿真,并将其引入设计环节,最终可以解决MEMS生产中设计与加工脱节的问题.MEMS加工工艺的核心是工艺模型.首先,在深入分析单步MEMS加工工艺的基础上给出了规则描述的工艺模型,其次,利用专家系统技术实现了系统.进一步用一种全新的器件微流量泵的工艺设计和虚拟加工过程验证了系统的可扩充性.
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