虚拟MEMS加工工艺的定义、关键技术与实现框架

作者：赵新; 李亚威; 任亮; 卢桂章虚拟mems加工工艺微电子机械系统虚拟现实专家系统虚拟加工知识库

摘要：首先提出了虚拟MEMS加工工艺的概念，它是利用图形动态生长，来模拟每步工艺过程，整个工艺过程中形状变化均包含在虚拟工艺中。其次，分析了实现虚拟工艺所涉及的关键技术：工艺描述、工艺模型和加工过程的可视化。第三，给出了基于专家系统技术的虚拟工艺实现框架。最后，实现了一种表面硅工艺的例子，初步验证了实现框架时间和精确度的可行性。

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