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半导体微电子技术用贵金属材料的应用与发展

作者:张永俐金属材料贵金属半导体微电子技术

摘要:贵金属具有良好的化学稳定性,高电导率和热导率,特有的电学、磁学、光学等性能,是发展半导体微电子技术必不可少的材料.文章综述了半导体器件欧姆接触、线路和电极、金属化系统、半导体包封,以及化合物半导体、液体金属离子源等用贵金属材料的应用和发展.

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贵金属

《贵金属》(CN:53-1063/TG)是一本有较高学术价值的大型季刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《贵金属》报道内容囊括金、银和铂族金属冶金、化学、材料、二次资源回收和综合利用,以及分析测试等学科的研究论文、研究通报和综合评述。

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