作者：左伟峰; 赵广彬; 程玺儒tialn涂层离子镀溅射功率断口形貌
摘要：采用钛铝合金比为7∶3的靶,通过非平衡磁控溅射离子镀制备TiAlN涂层。采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和MFT-4000多功能材料表面性能试验机对膜层形貌成分、组织结构及硬度进行测试分析,分析溅射功率对TiAlN涂层组织和结构的影响。测试结果表明：随着溅射功率的减小,膜层晶粒结构变得更稀疏,结合力减弱,Al/Ti比值变小。
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《工具技术》（CN：51-1271/TH）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度，颇受业界和广大读者的关注和好评。 《工具技术》主要报道机械加工领域中切削与测量技术的最新发展、金属切削理论研究、新型刀具的研制开发及应用、刀具生产及加工工艺、新型刀具材料、刀具涂层技术及装备、刀具CAD/CAM、数控工具系统及工具管理系统；机械加工中的测量原理、方法与误差理论研究、精密测量与质量控制技术、坐标和激光测量技术及设备、新型量具量仪的开发与应用、电子数显量具、工模夹具设计...
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