作者:葛培琪; 孟剑锋; 陈举华; 章亮炽集成电路单晶硅精密切片晶片基础研究切片技术硅晶体精密发展趋势
摘要:分析了目前硅晶体切片技术的特点和现状,综述了相关基础研究,指出了未来的发展趋势和研究热点.
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《工具技术》(CN:51-1271/TH)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度,颇受业界和广大读者的关注和好评。 《工具技术》主要报道机械加工领域中切削与测量技术的最新发展、金属切削理论研究、新型刀具的研制开发及应用、刀具生产及加工工艺、新型刀具材料、刀具涂层技术及装备、刀具CAD/CAM、数控工具系统及工具管理系统;机械加工中的测量原理、方法与误差理论研究、精密测量与质量控制技术、坐标和激光测量技术及设备、新型量具量仪的开发与应用、电子数显量具、工模夹具设计...
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