作者：邓上激光干涉仪细分技术干涉仪系统迈克尔逊脉冲当量精密测量细分方法电子细分光学细分反射器分辨率接收
摘要：激光干涉仪通常采取Machelson(迈克尔逊)干涉仪形式,由于反射器的作用,直接接收的脉冲当量为λ/2(约0.3μm),对于精密测量来说,显然是不够的.如何提高激光干涉仪系统的分辨率是激光干涉仪中的重要技术,有多种激光干涉仪的细分方法,概括起来为光学细分和电子细分两大类,本文介绍了几种典型方法,并分析了各种方法的特点.
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《工具技术》（CN：51-1271/TH）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度，颇受业界和广大读者的关注和好评。 《工具技术》主要报道机械加工领域中切削与测量技术的最新发展、金属切削理论研究、新型刀具的研制开发及应用、刀具生产及加工工艺、新型刀具材料、刀具涂层技术及装备、刀具CAD/CAM、数控工具系统及工具管理系统；机械加工中的测量原理、方法与误差理论研究、精密测量与质量控制技术、坐标和激光测量技术及设备、新型量具量仪的开发与应用、电子数显量具、工模夹具设计...
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