作者：徐东鸣无氧铜表面粗糙度尺寸精度形位公差精密零件导热性能电子束流耦合腔传输质量电真空器件
摘要：1 引言 无氧铜(TU1)以其纯度高,导电、导热性能优异等优越的电学性能,在微波技术应用领域里得到广泛的应用,大量用作电真空器件的制作材料.我所承制的某微波加速器为了提高电子束流的传输质量,避免尖端放电对微波场稳定性的影响,要求微波加速器内腔体表面具有很高的光洁度,加速腔表面粗糙度要求为Ra0.05～0.1,耦合腔表面粗糙度要求为Ra0.1～0.2,同时为了保证电子直线加速,要求每一个腔体的尺寸精度及形位公差都很高,一般在5～7级.在加速腔的加工过程中,要采取一系列工艺措施,来保证型腔的加工质量.
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