作者：李冰; 王昭; 李明周共焦显微镜物镜数值孔径测量精度参数选择
摘要：在设计点扫描激光共焦显微镜测量系统时,物镜参数的选择是至关重要的,因为它的数值孔径大小直接影响着系统的测量精度.本文对系统测量精度达到1μm时物镜参数的选择进行了详细的阐述.
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《工具技术》（CN：51-1271/TH）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度，颇受业界和广大读者的关注和好评。 《工具技术》主要报道机械加工领域中切削与测量技术的最新发展、金属切削理论研究、新型刀具的研制开发及应用、刀具生产及加工工艺、新型刀具材料、刀具涂层技术及装备、刀具CAD/CAM、数控工具系统及工具管理系统；机械加工中的测量原理、方法与误差理论研究、精密测量与质量控制技术、坐标和激光测量技术及设备、新型量具量仪的开发与应用、电子数显量具、工模夹具设计...
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