作者：郎平; 周兰英; 王永峰残余应力晶粒度点阵参数沉积工艺tin涂层高速钢
摘要：采用不同沉积工艺得到的TiN涂层高速钢的物相主次不同;涂层宏观残余应力呈压应力状态,应力状态主要与膜/基材料的热力学性能的差别有关;不同沉积工艺得到的TiN涂层高速钢的晶粒度约0.1μm,其对涂层的耐磨性影响不大,微观残余应力对耐磨性起了很大作用;不同沉积工艺得到的TiN涂层的点阵参数偏大,这主要是由涂层的微观残余应力和原子置换引起的;摩擦学实验表明以(111)晶面择优取向的试样的耐磨性最佳.
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
