作者：聂延平; 陈乃奇; 刘小丽; 张晟; 张娟抗蚀剂复合材料成型圆锥面加工中心计算机控制系统表面金属化金属镀层掩膜执行机构扩束
摘要：<正>引言激光立体扫描曝光成像技术是利用短波长激光高强度光点,通用多坐标联动加工中心作为运动执行机构,配合计算机控制系统,直接在已涂覆感光抗蚀涂层的曲面金属镀层上进行扫描曝光、形成感光抗蚀掩膜图像的新型技术。结合复合材料成型技术、复合材料表面金属化技术、化学蚀刻技术,能够在抛物面、双曲面、圆锥面等曲面载体上制造高精度的金属图
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