作者：赵祥杰 骆永全 张大勇液晶器件微透镜阵列波前传感电控可调焦距空间光调制器
摘要：液晶微透镜阵列是利用液晶的电控双折射特性和微电子工艺制作的微光学元件，具有焦距可调、工作电压低甚至阵列数目、透镜孔径以及形状可调的优点，应用于哈特曼波前探测技术时可以有效提升哈特曼波前传感的动态探测能力，显示出良好的竞争力。简要概述了哈特曼波前传感技术和液晶微透镜阵列制作技术的发展、现状，对不同类型的液晶微透镜阵列制作技术的优缺点进行了分析，并着重介绍了基于液晶空间光调制器的微透镜阵列在波前探测领域的应用。
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