作者：刘柠溢; 刘元坤; 李云; 李剑; 王旭相位高度映射虚拟平面三维重建相位测量轮廓术
摘要：在相位测量轮廓术中,相位高度映射是通过对若干已知平面的高度和相位来完成系统标定。其中四平面法所需数据量最少,但是单向相位高度映射在进行高度重建时,相位差越接近于0,则重建高度误差越大。为此提出一种基于虚拟参考面的相位高度映射法,即通过在原四平面基础上增加一个预设高度的虚拟平面,再拟合得到其相位分布,进而计算出适合于整个标定空间的系数表a、b、c,从而显著提高物体三维重建精度。实验结果证明了该方法的可以有效地减小映射高度误差,测得单向相位高度映射法物体重建相对误差低于4.76×10^-2 mm,虚拟参考平面相位高度映射法物体重建相对误差低于7×10^-3 mm,平面测量均差低于5×10^-3 mm。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
