作者：付光凯; 曹益平三维形貌测量浮雕轮廓术清晰度评价函数正弦条纹离焦量查找表
摘要：提出了一种基于清晰度的显微浮雕轮廓术。采用5倍显微物镜，将正弦条纹通过投影仪从显微镜目镜瞳口处耦合投射到载物台上，按照一个合适的步长移动Z轴，用CCD采集一系列不同离焦量下的条纹图像，用variance清晰度评价函数计算清晰度与离焦量之间的归一化啮线图，由此建立清晰度与高度的查找表；然后，放入待测浮雕物体，用CCD采集对应的条纹图像，采用图像分割分解不同浮雕高度的区域，再计算各区域内条纹的清晰度，根据查找表查找相应的高度，从而得到待测浮雕物体不同区域的高度信息，以此来重构浮雕物体的三维形貌。实验仿真分析证明了该方法的可行性，硬币上数字为“0”的浮雕物体表面三维形貌重建结果证明了该方法的有效性，其误差范围在[-2μm，2μm]之间。
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