作者：杨潞霞 毛静 王春水 张斌珍 王万军微透镜阵列薄膜形变有限元分析芯片键合聚焦测试
摘要：用聚二甲基硅氧烷（PDMS）软光刻工艺实现了一种主光轴平行于基底的微透镜阵列。首先对微透镜形成过程中的PDMS薄膜受力和变形情况进行了分析，并采用有限元分析方法对不同压力、不同厚度的薄膜变形情况进行了模拟，确定了合理的微透镜腔体结构；然后利用SU-8负模制作了PDMS微透镜腔体，将腔体与盖片进行了密闭封装，通过一定的压力向其注入紫外固化光学胶成型了微透镜阵列；最后使用自制装置对微透镜阵列的聚焦效果进行了测试。结果表明，提出的制作方法简单易行、成本低廉和焦距可控，而且易与其它的微系统集成到同一芯片。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
