作者：俞侃 吉紫娟 黄德修 尹娟娟 包佳祺薄膜滤光片角度调谐步进电机三连杆结构
摘要：基于薄膜滤光片角度调谐的基本原理，实现了一种具有较宽波长调谐范围的可调窄带滤光器。通过优化机构装置参量，利用步进电机精确控制滤光片的入射角度。通过对多腔窄带薄膜滤光片的膜系结构及其等效折射率的计算，得到了滤光片透射中心波长与入射角度的关系式。制备了一个包括步进电机及转动机构在内的滤波器角度调谐装置，在1543-1563nm的波长调谐范围内取得误差在±0．1nm以下的波长定位精度，达到当前对100GHz信道间隔滤波器的定位精度要求。
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