作者：李健; 安俊明; 夏君磊; 王红杰; 胡雄伟串扰平坦化
摘要：根据优化输入端多模干涉器(MMI)结构设计,研制出32通道50 GHz通道间隔、顶部平坦化的阵列波导光栅(AWG)器件.该器件的采用6 μm×6 μm折射率差为0.75%的Si基SiO2埋型波导结构,阵列波导数为130,罗兰圆半径为9 419.72 μm,相邻阵列波导长度差为128.42 μm.测试结果表明:AWG器件插入损耗(IS)为-5～-8.5 dB,串扰＞-25 dB,3 dB带宽＞0.25 nm.
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