作者：卢振武; 李凤有; 刘华; 谢永军; 翁志成非球面检测计算全息图线宽激光直写元件螺旋线口径曲面全息元基底
摘要：基于曲面计算全息方法,设计了检测大口径凸面非球面的干涉仪,其精度可优于λ/30(P-V值).研究了利用激光直写设备在曲面基底上制作全息图的方法,由于全息图的线宽变化较大,采用刻线的两边精确写入、中间螺旋线写入快速填充的策略,有效提高了写入精度和效率.在口径110 mm、曲率半径500 mm的曲面基底上,制作出了全息元件.利用自制的干涉装置,对用金刚石车床车削成的、口径100 mm的凸面非球面进行了检测,非球面的精度为0.8 λ(P-V值),检测结果与车床的精度吻合很好.
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