作者：鲍俊峰; 曹钟慧; 袁野; 邹勇卓; 吴兴坤微光电子机械系统moems光开关电火花加工edm光纤通信开关时间工作原理性能测试
摘要：研制了一种小体积、低成本及可扩展的低电压1×8微机械电子系统(MEMS)光开关.由5 V电压驱动电磁机构动作,带动微反射镜绕直径100 μm转轴转动,实现开关的状态切换.开关时间2 ms,插入损耗＜0.8 dB,具有断电自锁功能.器件制作采用微细电火花加工(EDM)技术.应用有限元方法进行了器件开关时间的理论分析,器件的结构优化设计,并与实测结果进行了比较.
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