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倒锥形抗反射表面微结构的构筑

作者:郝娟婷 何大澄 郝娟媛lb单层膜倒锥形微结构单晶硅抗反射

摘要:利用Langmuir-Blodgett(LB)技术在单晶硅表面转移岛状硬脂酸单层膜图案,通过各向异性的湿法刻蚀构筑倒锥形表面微结构.倒锥形结构的深度及表面抗反射性能主要与刻蚀的时间有关.这种方法结合了自组装面积大和湿法刻蚀成本低的优点,是一种廉价、高效的制备大面积抗反射微结构的方法,在降低光学器件和太阳能电池的成本方面具有潜在应用价值.

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高等学校化学学报

《高等学校化学学报》(CN:22-1131/O6)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《高等学校化学学报》获奖情况:首届及第二届国家期刊奖;连续两届“百种中国杰出学术期刊”;中国期刊方阵“双高”期刊;第三届(2005)国家期刊奖获奖期刊。

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