作者:赵福华; 谢永军; 许素莲; 刘刚; 付绍军辐射聚合光栅
摘要:采用溶胶-凝胶方法制备了一种新颖的具有辐射聚合能力的HfO2/SiO2凝胶薄膜,并采用X射线作曝光光源对薄膜进行了曝光,通过FTIR的测试,分析了薄膜曝光前后的结构变化,结果表明,该材料具有良好的辐射聚合能力,采用XPS分析了薄膜的成分,并证实了Hf元素的存在。用椭偏仪测试了薄膜的折射率,结果证实,加入HfO2提高了体系的折射率,利用其辐射聚合能力,采用X射线通过掩模板进行曝光,利用曝光部分与未曝光部分在溶剂中的溶解度差,在薄膜上制备了高为0.8μm、周期为1μm的衍射光栅,进一步证实了材料具有良好的辐射聚合能力。
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