作者:寇会光; 张文泉; 王克逸; 施文芳微透镜制作方法丙烯酸化超支化聚合物光学传递函数扫描近场光学显微镜自由基型光固树脂
摘要:微透镜及其阵列在光学通讯、医学诊断,特别是大规模集成光路板等领域具有广泛的应用前景[1~5]. 目前,微透镜及其阵列的制作方法已有很多报道,如热压纹法[6]、模型法[7]和刻蚀法[8]等. 但制作高质量、低成本的微透镜及其阵列仍是当前研究的一个热点课题. 利用丙烯酸化超支化聚合物较少链缠绕、粘度低、反应活性高等特点,在光引发剂存在下,使其快速固化成型,制得所需尺寸的微透镜. 该方法的特点是在二维可移动水平玻璃基板上,树脂液滴由于其重力和表面张力而迅速形成平凸形,经紫外光曝光固化成型,形成规整的微透镜及其阵列. 通过调节制作温度、树脂配方和液滴体积可以控制微透镜的尺寸及焦距,制得微米级的微透镜及其阵列.
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