作者:牛亚军; 查为懿; 常军; 沈本兰; 杨海波; ...超分辨显微镜投影光刻系统分辨率
摘要:随着人们对光学仪器分辨率的不懈追求,出现了超分辨这一概念。文中主要研究介绍了显微镜和投影光刻系统中的几种光学超分辨技术,并比较了两类系统超分辨技术的不同和联系,对光学超分辨技术进行总结。
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《光电技术应用》(CN:12-1444/TN)是一本有较高学术价值的大型双月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《光电技术应用》主要刊登光电系统工程,光电探测,光电器件与材料,测试与试验,电路与控制,信号与信息处理,仿真与评估等光电技术及其应用论文。荣获2006年获信息产业部电子科技期刊年度进步奖。
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