作者：伯恩 段发阶 冯帆 吕昌荣 傅骁精密测量表面形貌正弦相位调制相位稳定峰值检测
摘要：在基于条纹投射的物体表面形貌测量中，温度漂移和振动是造成条纹相位漂移的主要因素。为了稳定条纹相位，在相位补偿系统（PCS）中运用峰值检测简化相位提取过程，发展了一种基于正弦相位调制的干涉条纹相位稳定技术。将光纤缠绕在柱形压电陶瓷（PZT）上，向 PZT 注入正弦驱动电压实现对干涉条纹相位的正弦相位调制。运用2＆#215;2光纤耦合器分光，结合马赫-泽德干涉与杨氏干涉结构实现条纹投射。光电探测器检测两端面反射信号形成的迈克尔逊干涉信号，从中提取环境因素引起的相位漂移，运用旋转坐标数字机进行快速反正弦计算，生成的补偿信号与调制信号叠加后共同驱动PZT，实现条纹相位稳定。实验结果表明，条纹相位稳定精度为5.5 mrad，较好地消除环境因素引起的相位漂移。
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