作者：刘耀波 苑伟政 乔大勇 燕斌微机电扫描镜机电特性测量系统
摘要：本文在微机电（MEMS）技术上设计并加工出了一种新型基于SOI工艺的谐振式微扫描镜,设计了MEMS扫描镜机电特性测量系统,对MEMS扫描镜的工作原理、机电特性、系统测量方法、系统方案实现和系统精度评定等方面进行了研究。首先,介绍了MEMS扫描镜的工作原理,对其结构设计及机电特性进行了研究。其次,研究了MEMS扫描镜的频率、幅值测量方法,根据其测量原理制定了系统测量方案,并对系统的硬件电路及软件程序进行了设计。最后,为验证测量系统的精度及其可靠性,采用激光多普勒（LDV）及激光三角法分别对MEMS扫描镜的幅值、频率进行对比测试。实验结果表明：该测量系统与两种测试方法的测量结果基本一致,基本满足MEMS扫描镜的机电特性测量稳定可靠、精度高、实时性强等要求。本文的研究,对MEMS扫描镜的闭环控制驱动及在微型光谱仪中的应用具有很大的参考价值。
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