作者:郝沛明; 袁立银; 李可新; 周森林; 蒋世磊应用光学三级像差理论非球面透镜波前误差激光平行光管
摘要:此激光平行光管具有以前平行光管的优点,且可以与数字相移干涉仪对接,直接进行波前误差的高精度测量。分别用于三种波长,主波长λ=0.6328pm,另有λ=0.532pm和λ=1.06μm两种波长。基于三级像差理论,得出了采用非球面单透镜的平行光管的光学设计初始参数。以通光口径为Φ300mm、后截距为4616mm物镜为例,分析了不同波长下的波差、球差和有效焦距的变化情况。在其设计、加工、检验和装调上解决了诸多关键技术研制出了此规格的平行光管。最终物镜的波前误差达到0.11λ(λ=0.6328μm)。
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