作者：崔建文; 张军; 唐文彦; 李慧鹏直径测量圆柱体测量夫琅和费衍射测量误差
摘要：为了提高光学衍射法细圆柱体直径测量精度,用递归法建立了更精确的改进模型.运用改进模型测量细圆柱体直径时,克服了传统测量模型由衍射角引起的原理误差,提高了测量精度.光源的波长误差、暗条纹位置误差和透镜焦距调整误差均会产生测量不确定度,使用改进模型时的计算值分别为0.024μm,1.920μm和0.529μm.细圆柱体直径测量实验结果表明,基于改进模型的光学衍射法的相对测量误差在0.5% 以下,优于目前1% 的水平;测量不确定度小于2μm,与理论分析相一致.
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