作者：张彩妮fp干涉仪角位移测量微镜自聚焦透镜
摘要：提出了一种基于Fabry-Perot板干涉的角位移测量新方法.此方法采用函数近似,只需将初始入射角确定在40(到50(之间,即可由角位移与干涉信号条纹数变化间的函数关系,高精度测量角位移.解决了采用F-P板干涉法测量角位移需精确确定入射光初始角的问题.使用计算机处理采集的干涉信号,对干涉条纹进行细分,实现干涉信号相位测量的高分辨力.理论模拟和实验结果得出本方法可以实现精度为10-5rad数量级的角位移测量.该方法的测量装置采用带尾纤的半导体激光作为光源,由自聚焦透镜准直,出射光束直径为0.5mm,使探测头为小光斑.该装置结构简单,能实现小型化.
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
