作者：张均; 董军; 张艳; 张蓉竹; 蔡邦维检测技术刀口数字大口径光学元件计算机辅助计算图像采集处理定量检测图像处理频域信息面形分布检测精度像差分析ccdpsd球面镜干涉仪传统v值阈值数据
摘要：为便捷地定量检测大口径光学元件面形,运用数字刀口检测技术, 把传统刀口仪与CCD图像采集处理、计算机辅助计算相结合,构成数字刀口仪.采用图像处理来确定阈值对应的刀口位置,引入PSD来描述频域信息.对125mm和150mm口径的球面镜进行检测,实现了传统刀口仪不能完成的定量检测,获得了面形分布,检测精度P-V值达到0.12°=532nm°.通过与干涉仪测得P-V值0.057相比较,验证了数字刀口检测的可行性,而且得到的数据还可进一步进行像差分析,为镜面误差的加工修正提供依据.
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