作者：喻洪麟; 王远干; 黄尚廉透镜阵列光刻夫琅和费衍射衍射误差
摘要：透镜阵列光刻法用一个柱面阵列透镜代替常规光刻法中的柱面透镜形成光程差,将由衍射所引起的瞬变图形错开,消除由于光刻模板与被刻光栅之间因间隙引起的衍射误差.用光学传递函数方法说明了透镜阵列消除光刻中衍射误差的原理.实验表明透镜阵列光刻法,可以较好的消除衍射误差,研制出高质量的光栅.
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《光电工程》（CN：51-1346/O4）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《光电工程》刊登内容包括工程光学和光电技术方面的学术论文和技术报告，主要有自适应光学，应用光学，微光学，光电捕获跟踪测量技术，光学设计，薄膜光学，自动控制，电视技术，激光技术，光刻，精密刻划和光电传感技术，光通信，光计算，以及光学方面的其它高新技术。
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