作者:田秀云; 吴时彬; 伍凡; 陈强; 吴永前面形测量最小二乘法影响函数数据处理平面镜
摘要:通过在光瞳面上取点的方法,找出被检平面镜面形误差与检验系统波像差之间的相互关系,即影响函数.利用最小二乘法求解一组过定线性方程组,求得被检平面镜的面形误差,拟合出被检平面面形.将其与干涉仪直接测得的面形相比较,发现两种方法得到的结果很接近.
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《光电工程》(CN:51-1346/O4)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《光电工程》刊登内容包括工程光学和光电技术方面的学术论文和技术报告,主要有自适应光学,应用光学,微光学,光电捕获跟踪测量技术,光学设计,薄膜光学,自动控制,电视技术,激光技术,光刻,精密刻划和光电传感技术,光通信,光计算,以及光学方面的其它高新技术。
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