作者：左然; 张红; 刘祥林反应器化学气相沉积行星式涡旋对流数值模拟研究输运过程几何尺寸模拟结果外部参数输运现象薄膜生长cvd反应腔进口组合
摘要：针对三重进口行星式CVD反应器的输运过程进行了二维数值模拟研究.通过改变反应腔几何尺寸、导流管位置、三重进口流量组合、压强、温度等条件,研究反应器内对流涡旋的相应变化.根据模拟结果,对这类反应器中输运现象与外部参数的关系,特别是反应腔内对流涡旋的产生和发展作了较全面的分析和讨论,给出了抑制对流涡旋、获得薄膜生长所需的最佳输运过程的条件.
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