作者：黎兵; 蔡伟; 冯良桓; 蔡亚平; 李卫; 郑家...cds多晶薄膜化学池沉积法太阳电池制备工艺薄膜结构生长机制
摘要：采用化学池沉积(CBD)法,在3种不同衬底(玻片、ITO玻片、SnO2玻片)上沉积制备CdS多晶薄膜,并利用扫描电镜(SEM)、透射光谱、X射线衍射(XRD)和微电流高阻计等方法对沉积膜进行了测试分析,算出了CdS多晶薄膜的能隙宽度E0和电导激活能Ea,研究了CBD法中CdS多晶薄膜的生长沉积机制以及不同衬底对沉积效果的影响.结果表明:不同衬底的成膜效果差异较大,其中以SnO2玻片为衬底的沉积效果最佳.
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