作者：谢鸿波; 黄晋强; 刘军; 赖韶辉研磨机驱动机构多电机单电机
摘要：文章介绍了硅晶片双面研磨机及其工艺,指出研磨机构采用多电机驱动的不足,设计了单电机驱动机构,以及相应的硬件和软件系统,通过分析试验,结果良好。
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《工程技术研究》（CN：44-1727/N）是一本有较高学术价值的大型半月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《工程技术研究》围绕冶金工业的技术进步、推动科技与经济的有效结合和发展，开展技术、工艺、设备、节能、新产品开发、新技术应用等技术交流。为科技人员开辟学术交流、理论理论研究的学术园地，促进科技工作进行者在市场经济的动作中不断创新、有所发明、有所创造、有所前进、为企业技术经济发展多做贡献。
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