作者：李玉; 黄彩清; 吴凌x射线荧光光谱金属镀层厚度基材稳定性
摘要：从测试程序的建立、测试元素的稳定性和测试时间的选择等方面研究了X射线荧光光谱仪对厚度为几十及数百纳米金属镀层样品的测试精度,发现设置样品的程序时必须要考虑基材的成分;测试元素的稳定性可采用系统补正的方法调试;测试时间的选择必须考虑重现性和偏差。通过实验测量证实Ni/Pd/Au/Ag镀层样品的最佳测试时间是120s,而Ni/Pd/Au镀层样品的最佳测试时间为100s。
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