作者：张金娥; 刘英; 臧慕文; 李继东; 童坚; 刘...太阳能级多晶硅辉光放电质谱法电感耦合等离子体质谱法杂质元素
摘要：采用辉光放电质谱法（GD—MS）测定太阳能级多晶硅中B，P，Fe，Co，Nj，Cu，Zn等痕量杂质元素，并优化和选择了GD．MS工作参数。考察了在半定量分析的情况下，GD-MS测定痕量杂质的精密度。结果表明，GD．MS对B，P，Na，A1，K，Ca，Fe，Ni，Cu，Co，Zn等元素测定结果的RSD都小于30％。用ICP—MS法进行验证，检出限O．14～2．85ng／mL，RSD为1．6％-12％，加标回收率85．2％。125％。
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