作者：刘海军; 杜立群; 刘冲; 刘军山; 徐征玻璃微流控芯片湿法刻蚀热键合
摘要：本文提出了一种在商品化的SG4009玻璃上制作50×50mm微流控芯片的方法。SG4009玻璃表面有厚度570nm的光刻胶S-1085和厚度145nm的Cr层组成的掩蔽层，省去制作掩蔽层的时间和设备，降低了生产成本，缩短了生产周期。对芯片制作过程中的一些问题进行分析研究，提出相应的解决方案，保证了芯片的制作质量。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
《分析科学学报》（CN：42-1338/O）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《分析科学学报》主要报道我国在分析科学领域中的新理论、新方法、新技术、新仪器和新试剂，反映国内外分析科学前沿领域的最新进展和动向，促进学术交流，推动分析科学学科的发展。
省级期刊
人气 753188 评论 72
人气 484014 评论 71
人气 463134 评论 66
部级期刊
人气 441892 评论 69
