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XPS分析绝缘样品中磁透镜对中和效果的影响研究

作者:冯婷; 冯根生; 祁成林; 杨彬x射线光电子能谱绝缘样品磁透镜荷电中和x射线源

摘要:以绝缘样品聚对苯二甲酸乙二醇酯 (PET)为 X 射线光电子能谱(XPS)分析测试对象,探讨了使用不同的 X射线源作为激发源时,磁透镜对荷电中和系统中和效果的影响. 试验结果表明,当使用单色化 Al Kα 为激发源时,磁透镜对荷电中和器的中和效果没有显著影响. 而使用非单色化双阳极 Mg Kα 为激发源,磁透镜开启时才能得到良好的荷电中和效果,磁透镜关闭时所测谱峰会因荷电效应而发生峰形畸变.

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分析测试技术与仪器

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