作者：贾晓华; 赵永武化学机械抛光磨料流钢领磨损量表面粗糙度软质层
摘要：探讨了化学机械抛光（CMP）技术在细纱机的钢领后续加工中的应用．通过采用CMP与传统磨料流抛光技术的对比试验，表明应用CMP技术后提高了钢领的加工效率和工作表面质量，证明CMP应用于钢领抛光是完全可行的．同时，对CMP抛光钢领的机理及影响因素进行了分析．试验表明，采用CMP技术抛光钢领时，钢领的表面在抛光液的作用下形成了软质层，由于该软质层的形成，提高了抛光效率，也改善了钢领的表面质量．
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