世界第一个自动冷烧脉冲激光沉积系统

脉冲激光沉积沉积系统世界薄膜涂层生产设备工业生产表面光滑复合材料

摘要：芬兰开发出利用脉冲激光沉积的世界第一个大规模生产设备。该系统可工业生产4英寸薄片的脉冲激光沉积涂层。涂层室采用专利工艺，可用微微秒高频激光沉积大面积薄膜涂层。冷烧法的好处是表面光滑无颗粒，靶材可完全涂覆于基材薄膜上。此系统可多层沉积，用材广泛，包括氧化物、金属与复合材料。第一台系统将于2014年1月供货。

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