作者：高远; 彭能; 金明亚; 唐仁衡; 肖世文; 王...高纯氧化铌氢化脱氧振实密度靶材
摘要：采用酸洗除杂、氢氟酸溶解、氨水沉淀、水洗过滤、喷雾干燥,然后在氢气气氛中高温煅烧的还原脱氧工艺,制备出可用于制备靶材的铌氧化物粉体,通过差热分析、XRD、TEM、粒度分布测试等方法对产物脱水、脱氧情况,物相、颗粒大小及微观形貌进行研究,同时对粉体纯度、振实密度及氧含量进行测试。结果表明:产品颗粒呈球形,流动性好,纯度达到99.96%(质量分数)以上,振实密度1.88 g/cm^3,失氧量为粉末中总氧含量(质量)的3.3%,达到靶材原料质量要求,证明了该工艺的可行性。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
