作者：闫世源微电容检测微加速度器微陀螺微压力传感器
摘要：本文介绍了微电容检测在原理、制作和应用上的优势.综述了微电容检测技术在微加速度传感器、微陀螺和微压力传感器上的应用,并详细阐述了微电容检测电路的基本原理.最后分析总结了微电容检测技术的发展方向.
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《电子制作》（CN：11-3571/TN）是一本有较高学术价值的大型半月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《电子制作》作为一份综合性的科技类学术刊物，旨在推广电子科技、信息技术在社会各领域的应用和发展，关注科技传播与公民科学文化素质的提升。
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