中科院光电技术研究所量子级联激光器获突破

量子级联激光器光电技术研究所中科院水汽含量高纯气体检测技术高输出功率

摘要：高纯气体中水汽含量是半导体工业生产中的一个重要参数，气体中残余水汽含量即使是ppbv（体积的十亿分之一）量级也会对产品质量产生影响。气体在中红外区域具有更丰富的特征谱线，在该区域对水汽含量进行检测十分必要。宽调谐范同、高输出功率和窄线宽量子级联激光器的快速发展，推动了该区域红外光谱检测技术的发展。

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